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SnO<,2>薄膜具有良好的气敏性能和光敏性能,广泛的应用于固体化学传感器领域.本文采用三种不同的溅射方法制备具有纳米尺度的SnO<,2>薄膜,针对溅射方式的不同,结合薄膜结构上的差异,对三种溅射方式制备的SnO<,2>薄膜进行了XRD分析比较.
二氧化锡薄膜的制备与XRD分析
【摘 要】
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SnO薄膜具有良好的气敏性能和光敏性能,广泛的应用于固体化学传感器领域.本文采用三种不同的溅射方法制备具有纳米尺度的SnO薄膜,针对溅射方式的不同,结合薄膜结构上的差异,
【机 构】
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北京有色金属研究总院能源材料及技术研究中心(北京)
【出 处】
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第十二届中国固态离子学学术会议
【发表日期】
：
2004年期
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