稀土烧结助剂对低介电多孔氮化硅陶瓷的性能影响

• 作 者: 刘文彬[1]丁艳[1]邹景良[1]徐鹏[1]王芳香[1]杜洪兵[1]张伟儒[1]李玉莹[2]
• 机 构: 北京中材人工晶体研究院有限公司,北京 100018
• 出 处: 第十六届全国高技术陶瓷学术年会暨景德镇高技术陶瓷高层论坛
• 发表日期: 2010年期

以CeO2，Y2O3和Yb2O2为烧结助剂，通过造粒、冷等静压成型和气氛压力烧结成功制备出介电常数ε低于3.0的氮化硅透波材料。伴随稀土氧化物烧结助剂量提高，材料介电性能不断下降，在7％时略有回升。含CeO2试样强度低于30MPa,而有Yb2O3的试样强度最高。通过XRD检测和SEM观察，发现其β相转化程度最高、长径比最大。