金字塔状纳米结构Fe薄膜的制备及其磁性能研究

来源 :中国物理学会2012年秋季学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zwx2738
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采用直流磁控溅射法在Si(100)以及Si(111)衬底上制备Fe 薄膜.用X 射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、超导量子干涉仪(SQUID)分别对Fe 薄膜的结构、形貌以及磁性能进行表征.结果表明:制备态的Fe 薄膜结构为体心立方结构,在薄膜生长方向上,Fe 薄膜具有[110]晶体取向;制备态的Fe薄膜为柱状晶,柱状晶的顶部为针尖状.
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