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为了实现阴极蒸发的动态定量测量，研制了基于石英晶体振荡原理的测试系统，并完善了相应的测试技术。研究表明，利用此系统可简便地测量和计算出覆膜浸渍钡钨阴极在不同工作阶段的蒸发速率。
阴极蒸发动态测试系统及其测试技术
【摘 要】
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为了实现阴极蒸发的动态定量测量，研制了基于石英晶体振荡原理的测试系统，并完善了相应的测试技术。研究表明，利用此系统可简便地测量和计算出覆膜浸渍钡钨阴极在不同工作阶段的蒸发速率。
【机 构】
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中国科学院电子学研究所微波器件与技术研究发展中心
【出 处】
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中国科学院电子学研究所2006年青年学术交流会
【发表日期】
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2006年5期
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