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介绍了一种新型超硬薄膜材料-氮化碳(CN<,x>)的组成和结构,并对其主要的力学性能,光学性能及应用进行了概述.并综述了氮化碳的反应溅射、化学气相沉积、离子注入、高压合成、激光烧蚀等制备工艺方法.
新型超硬薄膜材料——氮化碳(CN<,x>)
【摘 要】
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介绍了一种新型超硬薄膜材料-氮化碳(CN)的组成和结构,并对其主要的力学性能,光学性能及应用进行了概述.并综述了氮化碳的反应溅射、化学气相沉积、离子注入、高压合成、激光
【机 构】
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湖南大学材料科学与工程学院(湖南长沙)
【出 处】
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第12届全国高技术陶瓷学术年会
【发表日期】
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2002年期
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