【摘 要】
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超声喷雾热解技术和低温等离子体轰击表面改性是制备高阻透明SnO单层膜及低阻/高阻SnO复合膜的有效手段.所沉积的薄膜用于CdTe太阳电池,可以有效降低电池的暗电流,提高其并联
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超声喷雾热解技术和低温等离子体轰击表面改性是制备高阻透明SnO<,2>单层膜及低阻/高阻SnO<,2>复合膜的有效手段.所沉积的薄膜用于CdTe太阳电池,可以有效降低电池的暗电流,提高其并联电阻.本文用氩氧混合等离子体对SnO<,2>薄膜进行轰击改性,研究了薄膜不同轰击条件后结构和电学性质的变化.研究了超声喷雾热解技术中,衬底温度、溶剂中添双氧水与SnO<,2>薄膜的结构、电学性质的关系.XRD、四探针电阻测试结果表明.等离子体轰击表面改性中,随轰击时间的增加,薄膜方块电阻增加,但结构不变.超声喷雾热解技术中,高衬底温度下使用双氧水能大幅度提高SnO<,2>薄膜方块电阻.
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