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作为良好的半导体材料，单晶硅广泛地应用于微电子技术领域，对国民经济贡献巨大。然而，由断裂引发的结构失效行为是限制微电子技术进一步向小型化方向发展的主要因素。本文借助聚焦离子束技术制备了微纳米梯形双悬臂梁试件，基于透射电子显微镜技术开展了微纳米尺度裂纹扩展原位观测实验，成功观测到了启裂、扩展以及止裂的完整断裂过程。