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籽晶极性对4H-SiC晶体生长的影响
籽晶极性对4H-SiC晶体生长的影响
来源 :第十一届全国X射线衍射学术大会暨国际衍射数据中心(ICDD)研讨会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zhang5658
【摘 要】
:
本研究着重研究了籽晶极性对4H-SiC晶体的晶型、电学性质以及杂质含量的影响,分析了籽晶极性对SiC晶体生长的影响机理。
【作 者】
:
刘春俊
彭同华
王波
赵宁
王锡明
娄艳芳
陈小龙
【机 构】
:
中国科学院物理研究所功能晶体研究与应用中心,北京,100190;北京天科合达蓝光半导体有限公司,北京,100190北京天科合达蓝光半导体有限公司,北京,100190
【出 处】
:
第十一届全国X射线衍射学术大会暨国际衍射数据中心(ICDD)研讨会
【发表日期】
:
2012年7期
【关键词】
:
碳化硅
晶体生长
籽晶极性
半导体材料
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本研究着重研究了籽晶极性对4H-SiC晶体的晶型、电学性质以及杂质含量的影响,分析了籽晶极性对SiC晶体生长的影响机理。
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