籽晶极性对4H-SiC晶体生长的影响

来源 :第十一届全国X射线衍射学术大会暨国际衍射数据中心(ICDD)研讨会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zhang5658
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  本研究着重研究了籽晶极性对4H-SiC晶体的晶型、电学性质以及杂质含量的影响,分析了籽晶极性对SiC晶体生长的影响机理。
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