Polymer/Si AWG器件材料光学常数的准确测量

• 作 者: 张大明[1]李德辉[2]于硕[2]张希珍[2]王菲[2]鄂书林[1]
• 机 构: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,应用光学国家重点实验室,长春,130031
• 出 处: 中国光学学会2004年学术大会
• 发表日期: 2004年期

本文使用WVASE32 型椭偏仪，对Si 基聚合物薄膜的折射率和吸收系数的测量方法进行分析；对聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)材料和氟化聚酯材料在波长为1.55μm 时的折射率进行了准确测量，并根据测量结果对聚合物AWG 器件进行了设计，器件通道数为32，工作波长为1.55μm，波长间隔为0.8nm。本文同时探讨了多层有机薄膜及氟化聚合物薄膜折射率的测量方法。