在沉积过程中离子轰击对金刚石膜取向的影响

• 作 者: 张文军 姜辛
• 机 构: aunhofer Institute for Thin Films and Surface
• 出 处: '96中国材料研讨会
• 发表日期: 1996年期
• 关键词: 沉积过程 离子轰击 金刚石膜 晶粒取向 表面层 微波等离子体 化学气相沉积 金刚石衬底 表面织构 离子束流 定向生长 衬底取向 向信息 实验 平行 辅助 方法

该文研究了在微波等离子体气相沉积过程中离子轰击对金刚石膜取向的影响。实验发现利用离子轰击辅助化学气相沉积的方法，在任意取向的金刚石衬底上都可获得（００１）织构的金刚石表面层。用ＳＥＭ和ＡＦＭ分析了表面层形貌及表面层晶粒取向与衬底取向的关系。结果证实，表面层晶粒的［００１］轴平行于轰击离子束流方向，同时衬底的晶全取向信息也传递给了表面层晶粒，所以观察到了定向生长的区。文中对造成表面织构层生长的因素作了初步的探讨。