【摘 要】
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我们用低温水浴法制备了Eu-Ru共掺杂NiO/SnO2复合纳米粒子,透射电镜TEM结果表明纳米粒子粒度均匀,大小平均约50nm,有团聚现象,选区内电子衍射表明其结晶性不好,所测晶面
【机 构】
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东北大学 机械工程与自动化学院 真空流体工程技术研究所
【出 处】
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2013‘全国半导体器件技术、产业发展研讨会暨第六届中国微纳电子技术交流与学术研讨会
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我们用低温水浴法制备了Eu-Ru共掺杂NiO/SnO2复合纳米粒子,透射电镜TEM结果表明纳米粒子粒度均匀,大小平均约50nm,有团聚现象,选区内电子衍射表明其结晶性不好,所测晶面间距数据与SnO2(JCPDS No.50-142 9卡片)和NiO (JCPDS No.44-11159卡片)数据吻合,结构为NiO/SnO2复合结构.对水热机理进行分析,发现本工作中PH较大(PH=10),致使溶液中Ni(OH)2-或Sn(OH)-n(n-4)浓度较大吸附更多的阳离子,另外水浴时间较长、生长速度过慢均会影响纳米粒子分散.将纳米粒子旋涂成膜,研究了其形貌及电学特性.原子力显微镜形貌观测发现,纳米粒子薄膜致密平滑,平均粗糙度约0.25 nm,粒子团聚与透射电镜结果相近.电学测试表明薄膜具有可重复双极阻变特性,阈值电压约1V,开关比达500,可能由于纳米粒子薄膜缺陷多而重复性差.薄膜高阻态输运符合缺陷俘获电荷所致空间电荷限制导电机制,低阻态为欧姆特性.其综合输运特性可能与PN结界面处形成的导电耗尽层有关,可用电荷俘获及再释放模型对阻变机理进行解释.
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