电容式MEMS加速度传感器封装技术

来源 :2014`全国半导体器件产业发展、创新产品和新技术研讨会暨第七届中国微纳电子技术交流与学术研讨会 | 被引量 : 0次 | 上传用户：coretech333

【摘要】

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微机电系统加速度传感器由于体积小、质量轻、成本低、可靠性高等优点而备受关注,但在实际应用中MEMS高量程加速度传感器常常由于抗高过载能力较差而导致结构失效.为保证MEMS

【作者】

：

陈学峰任世飞杨小平

【机构】

：

苏州固锝电子股份有限公司

【出处】

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2014`全国半导体器件产业发展、创新产品和新技术研讨会暨第七届中国微纳电子技术交流与学术研讨会

【发表日期】

：

2014年8期

【关键词】

：

加速度传感器封装技术微机电系统可靠性分析

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微机电系统加速度传感器由于体积小、质量轻、成本低、可靠性高等优点而备受关注,但在实际应用中MEMS高量程加速度传感器常常由于抗高过载能力较差而导致结构失效.为保证MEMS高量程加速度传感器在应用时的可靠性.一种电容式MEMS加速度传感器,通过MEMS芯片的设计、封装材料的选择及封装工艺的控制,使其达到较高的可靠性要求.

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