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近些年来，随着膜层材料的广泛应用，国外学者对于沉积膜层脱层及屈曲问题日益关注，主要是因为脱层与屈曲是微纳米机电系统器件的主要破坏形式。薄膜在纳米尺度上的变形和损失直接影响到器件的性能和寿命。因此，将薄膜/基底作为一个基本结构，对其中薄膜的力学、热学行为进行研究，具有其必要性和紧迫性。
纳米薄膜在力一热耦合载荷下的屈曲和后屈曲研究
【摘 要】
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近些年来，随着膜层材料的广泛应用，国外学者对于沉积膜层脱层及屈曲问题日益关注，主要是因为脱层与屈曲是微纳米机电系统器件的主要破坏形式。薄膜在纳米尺度上的变形和损失
【机 构】
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天津大学力学系,天津,300072
【出 处】
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第十三届全国实验力学学术会议
【发表日期】
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2012年期
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