大气压多弧反应器中交流电弧动态特性研究

来源 :第五届全国工业等离子体会议暨第五届高离化磁控多弧技术研讨会及第二届 PVD 企校合作高层论坛 | 被引量 : 0次 | 上传用户：liongliong567

【作者】

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【机构】

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中国科学院等离子体物理研究所,合肥,230031

【出处】

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第五届全国工业等离子体会议暨第五届高离化磁控多弧技术研讨会及第二届 PVD 企校合作高层论坛

【发表日期】

：

2017年12期

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