论文部分内容阅读
本文从应用开发MEMS产品的实用角度出发，着力介绍一种新型的硅电容微差压敏感器件。文中给出了该器件的微结构组成，版图及参数设计、工艺设计，首次提出在中心极板制作导油槽结构提高微差压传感器过压回零响应速度的设计方法，并给出了设计、实施方案及达到的效果。采用该方案已成功研制出硅电容微差压敏感器件，性能优良，在微信号的高精度检测方面具有广阔的应用前景。