【摘 要】
：
在新引进日本抛光机9B-6P上进行石英摆片抛光,经过以下几点技术创新,增加十字沟槽抛光垫、抛光料粒径控制、抛光压力优化,针对抛光过程中出现的缺陷,提出解决方案,摸索出
【机 构】
：
中国工程物理研究院电子工程研究所,四川绵阳621900
【出 处】
：
第十二届全国敏感元件与传感器学术会议
论文部分内容阅读
在新引进日本抛光机9B-6P上进行石英摆片抛光,经过以下几点技术创新,增加十字沟槽抛光垫、抛光料粒径控制、抛光压力优化,针对抛光过程中出现的缺陷,提出解决方案,摸索出新的工艺参数.与原来工艺比较,试验证明我们选择的工艺参数匹配合理,抛光成品率由80％提高到90％以上,获得表面无划道、无麻坑、无桔皮,平整度≤3μm,平面度≤2光圈,Ra=0.025μm的石英摆片.
其他文献
高频超声换能器是超声成像系统中的重要组成部分,其性能直接影响成像分辨率。结合铌酸锂反转层材料的高频特性及微凹型工艺的聚焦特性,提出了一种微凹型反转层器件,并用
运用文献资料法、问卷调查法、数理统计法等方法,对郑州西亚斯学院的公共体育课选课动机进行了研究和分析.结果表明:学生对部分体育项目存在误解,项目益处认知不足;不同的体
将一只电感线圈与电容首尾相连组成无源谐振器，同轴放置于电涡流位移传感器探头顶部。该谐振器与测量电路间无电气连接，具有较高的品质因数。采用略低于谐振器固有频率的稳
药物引起心肌细胞毒性极大的危害人体健康，因而受到广泛地关注。本研究基于光寻址电位传感器建立细胞传感器，可同时对心肌细胞阻抗和搏动进行监测，从细胞生长、增值、节律性
随着社会快速发展,高等教育尤其是高职教育中,以教师为中心,基于学科知识的教育教学模式已经难以适应现代人才培养的实际需求,转变教育模式,创新教学体系改革,是当前高职教育
建立了石英振梁加速度计的力学模型,从理论上分析了其在半周正弦冲击载荷作用下的动态响应特性。通过有限元分析软件ANSYS分别对加速度计敏感结构在x,y,z三个方向的冲击
正交误差是石英音叉陀螺的主要误差源之一，使用激光烧除质量的方式可以将正交误差控制在较小范围。分析了正交误差产生的机理，通过有限元仿真研究了在去除质量时正交输出、
在“中国制造2025”背景下,智能制造类企业需要大量的技术技能复合型人才,职业院校必须根据企业需求对人才培养模式进行改进.本文针对智能制造专业群的建设开展研究,阐述了智
中国技术经济学会价值工程专业委员会2017年会暨专业委员会换届会议(价值工程前沿:理论与实践)定于3月4日在重庆大学召开。现将有关会议事项通知如下:1.委员会理事长副理事长
随着高等教育改革的全面推进,人们围绕如何提高教学质量、完善课程体系、扩展应用教学开展了大量工作.文章结合目前高等数学课程教学中存在的问题,从教学方法、教学计划、辅