【摘 要】
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当今,OLED、OPV等有机电子器件迅猛发展.有机电子器件具有轻、薄、柔等特色.有机电子器件封装要求低温、柔性、薄膜封装.交替结构薄膜被认为是最有效薄膜封装方式.制备交替结构薄膜的主要方法有：(1)有机(涂敷)/无机(溅射)交替结构；(2)无机(ALD)/无机(ALD)交替结构；(3)有机(PECVD)/无机(PECVD)交替结构.其中PECVD能实现有机/无机交替结构同源、同腔生长而更受青睐.本
【机 构】
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中国科学院微电子研究所,微电子器件与集成技术重点实验室,北京100029 中国科学院苏州纳米技术与
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当今,OLED、OPV等有机电子器件迅猛发展.有机电子器件具有轻、薄、柔等特色.有机电子器件封装要求低温、柔性、薄膜封装.交替结构薄膜被认为是最有效薄膜封装方式.制备交替结构薄膜的主要方法有：(1)有机(涂敷)/无机(溅射)交替结构；(2)无机(ALD)/无机(ALD)交替结构；(3)有机(PECVD)/无机(PECVD)交替结构.其中PECVD能实现有机/无机交替结构同源、同腔生长而更受青睐.本课题组自行设计搭建一套ICP-PECVD系统,深入研究沉积温度、射频功率、工艺气体流量及比例、沉积压强等参数对单层无机或有机薄膜特性的影响,综合研究了交替结构界面、交替结构层数等参数对水氧阻挡性能的影响.结果发现无机薄膜主要起水氧阻挡的作用,有机薄膜起柔性的作用,无机薄膜的缺陷和致密性直接影响整个封装结构的水氧阻挡性能,交替结构界面特性对水氧阻挡性能有重要影响.单周期有机/无机交替结构水氧阻挡性达10-2g/m2·day,四周期有机/无机交替结构水氧阻挡性达105g/m2·day.
其他文献
Cu2ZnSnS4(CZTS)不仅具有较高的光吸收系数(＞104 cm-1)和与太阳能电池吸收层相匹配的禁带宽度(约为1.50 eV),而且其组成元素在地壳中储存量丰富、毒性低,被认为是一种绿色、廉价、适合大规模生产的太阳能电池吸收层材料.本文采用无毒的乙醇作溶剂,金属氯化物和硫代乙酰胺(TAA)为原料,单乙醇胺(EMA)为添加剂制备均匀的前驱溶液,并采用旋涂法和真空退火处理制备CZTS薄膜.系统
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铜锌锡硫(Cu2ZnSnS4)不仅具有较高的光吸收系数(＞104cm-1)和与太阳能光谱相匹配的禁带宽度(约为1.50 eV),而且其组成元素在地壳中储存量丰富、毒性低,被认为是一种绿色、廉价、适合大规模生产的太阳能电池吸收层材料.为满足光伏技术的高效率和低成本的要求,本文采用便宜低毒的乙二醇甲醚为溶剂,氯化铜、氯化锌、硫化亚锡为金属源,硫脲为硫源,单乙醇胺为添加剂制备溶胶-凝胶,通过旋涂法结合改
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