【摘 要】
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以性能相近的α和β两种SiN粉体为原料,采用相似的工艺方法制备SiN材料。研究发现,在相同的热压条件下,α-SiN和β-SiN原料均可制备致密度较高的SiN材料,但α粉原料制得的材料致
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以性能相近的α和β两种Si<,3>N<,4>粉体为原料,采用相似的工艺方法制备Si<,3>N<,4>材料。研究发现,在相同的热压条件下,α-Si<,3>N<,4>和β-Si<,3>N<,4>原料均可制备致密度较高的Si<,3>N<,4>材料,但α粉原料制得的材料致密度更高;α粉制备Si<,3>N<,4>材料的过程中发生了α→β相变,相变形成的β-Si<,3>N<,4>晶粒为柱状晶粒,而用β粉原料制备的材料中β-Si<,3>N<,4>晶体为等轴状晶粒;α粉制备的Si<,3>N<,4>材料力学性能优于β粉制备Si<,3>N<,4>材料。
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