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铀表面等离子体离子注入氮化层的腐蚀行为
铀表面等离子体离子注入氮化层的腐蚀行为
来源 :TFC'07全国薄膜技术学术研讨会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:lawyerhw
【摘 要】
:
本研究采用等离子体浸没离子注入技术对铀表面进行了氮化处理,对氮化后的铀试样进行了100℃湿热腐蚀考核实验,并分别利用激光拉曼技术、X射线衍射分析技术和光学显微镜原位分析
【作 者】
:
白彬
梁宏伟
严东旭
郎定木
【机 构】
:
表面物理与化学国家重点实验室,绵阳718-35信箱621907
【出 处】
:
TFC'07全国薄膜技术学术研讨会
【发表日期】
:
2007年期
【关键词】
:
表面等离子体
离子注入技术
氮化层
表面形貌变化
离子体浸没
光学显微镜
原位分析
衍射分析
激光拉曼
氮化处理
铀表面
热腐蚀
核实验
层结构
试样
射线
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本研究采用等离子体浸没离子注入技术对铀表面进行了氮化处理,对氮化后的铀试样进行了100℃湿热腐蚀考核实验,并分别利用激光拉曼技术、X射线衍射分析技术和光学显微镜原位分析了氮化层结构和表面形貌变化。
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热处理炉
薄膜制备
大面积
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旋转
系统
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工艺
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真空热处理
膜性能
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会议
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高反膜
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离子束辅助沉积
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基底
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硬度仪
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硅硬度
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