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采用Ansoft电磁场有限元仿真分析软件就单屏蔽电极结构光电集成强电场传感器对待测电场影响问题进行了仿真研究。建立了均匀场中传感器的晶片、金属屏蔽电极、封装外壳的仿真模型，对传感器在不同场域中的电场响应进行了计算，分析了平板间隙校准的要求、金属电极和封装外壳对电场的影响，为传感器的科学使用提供了依据。