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首先利用有耗传输线理论得到特性阻抗(0Z)、衰减常数(α)、相移常数(β)和等效折射率(effn)的表达式,然后通过全波电磁仿真得到输入阻抗(Zin)随传输线长度(L)的变化曲线,最后运用最小二乘法曲线拟合技术计算出1太赫兹频率下共面波导(CPW)传输线的基本特性参数。同时我们还讨论了当分别使用硅、二氧化硅、石英玻璃、环氧树脂和苯并环丁烯这五种材料作为基板时,不同几何尺寸大小下共面波导传输线的特性参数的变化情况。通过对比分析,为在太赫兹频段下平面结构传输线基板材料选择提供参考。