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本文在商用高截止频率（THzfC3=）肖特基二极管DBES105a的简化电路模型基础上，对非线性肖特基结以外的无源结构部分进行了电磁场全波分析，在考虑二极管无源区各种寄生参量和不连续性影响的情况下，建立了更精确的二极管电路模型。利用ADS软件，通过拟合二极管S参数曲线确定芯片电路模型中各集总参数元件数值。二极管在片小信号S参数测试结果和基于改进的电路模型仿真结果相吻合。该二极管电路模型可应用于太赫兹混频倍频电路的准确分析与设计。