【摘 要】
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高速图像传感器在科学前沿研究、国防武器和工业自动化等领域具有广阔的应用前景.高速图像传感器的像素器件存在两个关键研究难点:1、由于高速CMOS图像传感器曝光时间较短,需
【机 构】
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中国科学院半导体研究所超晶格国家重点实验室,中国北京100083
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高速图像传感器在科学前沿研究、国防武器和工业自动化等领域具有广阔的应用前景.高速图像传感器的像素器件存在两个关键研究难点:1、由于高速CMOS图像传感器曝光时间较短,需要大尺寸的光电二极管来提高灵敏度,而大尺寸光电二极管中横向电场较弱,使得大尺寸光电二极管内部电荷难以快速读出;2、高速CMOS图像传感器中的图像拖尾现象也是一个难以消除的问题.
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