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针对目前光学镀膜过程中最常用的两种光学膜厚监控方法--单波长法和宽光谱法,分别介绍其工作原理,对现行用作自动膜厚控制的数据处理方法和影响因素进行了分析,并介绍了这两种方法的特点及适用范围.
光学膜厚监控方法
【摘 要】
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针对目前光学镀膜过程中最常用的两种光学膜厚监控方法--单波长法和宽光谱法,分别介绍其工作原理,对现行用作自动膜厚控制的数据处理方法和影响因素进行了分析,并介绍了这两
【机 构】
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天津津航技术物理研究所,天津,300192
【出 处】
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2007年国际光学薄膜技术及其应用研讨会
【发表日期】
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2007年5期
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