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在微波单片集成电路中,薄膜电容常通过通孔接地.本文分析了接地薄膜电容等效电路中各元件参数和等效电路S参数的计算以及导带的梯形横截面对这些参数的影响.
微波单片集成电路(MMIC)中接地薄膜电容的理论分析
【摘 要】
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在微波单片集成电路中,薄膜电容常通过通孔接地.本文分析了接地薄膜电容等效电路中各元件参数和等效电路S参数的计算以及导带的梯形横截面对这些参数的影响.
【机 构】
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清华大学电子工程系微波和数字通信国家重点实验室(北京)
【出 处】
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2002'全国第九届微波集成电路与移动通信学术会议
【发表日期】
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2002年期
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