论文部分内容阅读
大量研究表明,在TiN或其他过渡金属化合物中加入Si,形成以Si<,3>N<,4>界面相分隔并包裹氮化物纳米晶的微结构的确是一条通过微结构设计获得高硬度薄膜的有效途径.
反应溅射Ti-Si-N纳米晶复合薄膜研究
【摘 要】
：
大量研究表明,在TiN或其他过渡金属化合物中加入Si,形成以SiN界面相分隔并包裹氮化物纳米晶的微结构的确是一条通过微结构设计获得高硬度薄膜的有效途径.
【机 构】
：
上海交通大学材料科学与工程学院(上海)
【出 处】
：
第十三届全国电子显微学会议
【发表日期】
：
2004年期
其他文献
文章主要从技术角度阐述了电子商务信息安全问题,详细说明了电子商务信息存在的问题,并提出了相应的技术解决方案。
The article mainly expounds the information security
目的探讨布鲁杆菌病人体内T淋巴细胞及相关细胞因子的变化。方法用流式细胞术检测外周血单个核细胞中CD4+T细胞、CD8+T细胞和CD4/CD8比例;用ELISA法检测血清中IFN-γ、IL-2、
特征X射线是电子探针分析的主要信息,根据特征频率(或波长)就可以识别样品中存在哪种元素,这是电子探针定性分析的基本原理.在定性分析的释谱过程中要注意谱线的判别,峰的重
目的了解淮安市沿淮河和洪泽湖周边地区高砷水源分布范围及特点。方法采取普查和抽查相结合的方法,收集4个县147个村的水样。水砷筛查采取半定量试剂盒法,水砷定量测定采用原
2010年的中国楼市到底给了我们什么,我说不清,能说出来的,就是困惑。3月18日:国资委发布78家央企“退出令”在3月初召开的人大、政协两会上,温家宝总理在政府工作报告中说,有
目的运用地理信息系统(GIS)制作2009年青海省大骨节病空间流行分布图、分析探讨青海省大骨节病流行态势。方法收集2009年青海省7~12岁儿童大骨节病监测资料,以青海省电子地图为背景,运用北京超图有限公司开发的青海省地方病地理信息系统,建立青海省大骨节病空间分布图。结果制作获取青海省2009年大骨节病空间分布图以及大骨节病临床、X线和居民预防性补硒发硒含量测定分布图,分析大骨节病发病流行状况。结
多晶铁纤维是一种具有多种吸收机制的雷达波吸收剂,对展宽吸收频带,减轻吸收涂层的重量具有很大应用前景.为研究取向的铁纤维对涂层的吸收性能,我们通过外加磁场的方法,实现
我们采用反胶束的方法制备了FePt合金纳米颗粒.颗粒尺寸的统计结果表明,制得的FePt合金纳米颗粒的粒径可以很小,达到2.5nm,这是目前用湿化学方法制备用于磁记录的最小的FePt