自动直径控制与晶体质量

来源 :首届硅酸盐青年学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zh85120
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该文对比研究了晶体生和长过程中自动等径控制与人为直径控制各自的特点;指出了ADC(自动直径控制)技术生长晶体过程中固液界面的变化与控制过程的联系;论述了引起界面变化的各种因素及其抑措施;同时,还讨论了ADC技术对晶体质量的作用。
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