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会议论文
自动直径控制与晶体质量
自动直径控制与晶体质量
来源 :首届硅酸盐青年学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zh85120
【摘 要】
:
该文对比研究了晶体生和长过程中自动等径控制与人为直径控制各自的特点;指出了ADC(自动直径控制)技术生长晶体过程中固液界面的变化与控制过程的联系;论述了引起界面变化的各种因素
【作 者】
:
曹野垠
胡静
【机 构】
:
光电技术研究所
【出 处】
:
首届硅酸盐青年学术会议
【发表日期】
:
1998年期
【关键词】
:
直径控制
晶体质量
控制过程
固液界面
技术生长
对比研究
等径控制
措施
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该文对比研究了晶体生和长过程中自动等径控制与人为直径控制各自的特点;指出了ADC(自动直径控制)技术生长晶体过程中固液界面的变化与控制过程的联系;论述了引起界面变化的各种因素及其抑措施;同时,还讨论了ADC技术对晶体质量的作用。
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