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离子束辅助沉积（IBAD）是集离子注入和真空镀膜技术的优点下一体的材料表面改性新技术，在材料的腐蚀防护、装饰等方面获得工业应用。该文探索应用IBAD于特种金属铀的腐蚀防护。通过实验分别比较了离子注入、射频溅射和IBAD的效果，最后采用IBAD，并优选了镀膜成分，特殊的镀膜工艺和参数，在代用材料和铀上分别成功地制备了核性能优良的金属化合物薄膜，SEM，EDX，AES，XRD和电化学实验表明：膜层具有晶体的结构。组织致密均匀、膜与基体结合力好，防腐蚀效果突出。＜1μm厚的膜层即可使铀在3．5℅NaCl熔液中的腐蚀速度降低2-3个数量级，IBAD技术用于材料的腐蚀防护具有普遍意义。