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该文报道了用一台新型弧热氮原子束源进行氮化物薄膜的合成。氮原子束的强度达到１０〈’１９〉原子／弧度．秒，平均动能在１－２ｅＶ左右。该氮原子束源的工作气体为纯氮气，起弧方式为由辉光放电向弧光放电过渡，在放电室气压３０－３００乇范围内，弧放电极为稳定。用这种原子束源产生的活性氮原子束作用于衬底以及激光溅射产生的羽状等离子体，合成了具有一定结晶形态、较高氮含量和氮碳键组份的氮化碳薄膜。