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该文就研制先进等离子体源(GIS)的意义，设计及调试进行了论述。
用于制造光学薄膜的先进等离子体源
【摘 要】
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该文就研制先进等离子体源(GIS)的意义，设计及调试进行了论述。
【机 构】
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中国科学院空间科学与应用研究中心
【出 处】
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中国电工技术学会第六届学术会议
【发表日期】
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1999年期
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