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基于平板式静电微执行器的模型,分析了其pull-in现象,并且在考虑边缘效应的情况下,即根据考虑电容边缘效应的理论模型,推导出平板式静电微执行器的pull-in参数。然后用有限元分析软件ANSYS建模,得到其pull-in参数的标准数值,最后实现理论数值和标准数值的比较。得出各种理论模型的精确度。