【摘 要】
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该文论述了应用于微波和毫米波段的MEMS微机械电容开关的结构、原理及工艺流程和制作方法。执行开关动作的元件是一层薄的金属薄膜桥，根据外加偏压它有两种状态：动作或静止。当
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该文论述了应用于微波和毫米波段的MEMS微机械电容开关的结构、原理及工艺流程和制作方法。执行开关动作的元件是一层薄的金属薄膜桥，根据外加偏压它有两种状态：动作或静止。当薄膜在这两种状态之间转换的时候，微波信号也在开和关之间转换。该所设计的开关执行电压为30V，截止时开关的电容C<,off>约为4.4pF，导通时开关的电容C<,on>约为42fF。该器件为下一代低损耗，高线性度的通信微波电路提供了应用前景。
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