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本文首先讨论了东南大学正在开发的MEMS CAD软件的系统结构和工作流程,然后通过一个器件级模拟的例子对软件的工作进行了说明.
MEMS CAD及其模拟软件
【摘 要】
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本文首先讨论了东南大学正在开发的MEMS CAD软件的系统结构和工作流程,然后通过一个器件级模拟的例子对软件的工作进行了说明.
【机 构】
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东南大学微电子中心(南京)
【出 处】
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第四届全国微米/纳米技术学术会议
【发表日期】
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2000年6期
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