【摘 要】
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金属纳米颗粒由于具有独特的局域表面等离子体共振(LSPR)性质，广泛地应用于提高紫外光电探测器器件性能领域。利用射频磁控溅射技术在石英衬底上溅射Pt纳米颗粒在底部ZnO
【机 构】
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长春理工大学材料科学与工程学院,长春130022
【出 处】
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第八届中国功能玻璃学术研讨会暨新型光电子材料国际论坛
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金属纳米颗粒由于具有独特的局域表面等离子体共振(LSPR)性质，广泛地应用于提高紫外光电探测器器件性能领域。利用射频磁控溅射技术在石英衬底上溅射Pt纳米颗粒在底部ZnO薄膜在上面的复合结构，并采用传统湿法刻蚀的方法在薄膜上制备了叉指Au电极，构成金属-半导体-金属(MSM)结构的紫外光电探测器。结合对器件的光电性能测试分析，与底部没有溅射Pt纳米颗粒的探测器件相比，得出Pt金属纳米颗粒有效增强了氧化锌薄膜材料的光吸收度，峰值响应度提高了2个数量级。
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