超声喷雾热解法制备的氮掺杂纳米TiO2薄膜及其光催化特性研究

来源 :2009年薄膜技术高峰论坛暨广东省真空学会学术年会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:lyl478
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利用超声喷雾热解法在玻璃衬底上制备了氮掺杂纳米TiO2薄膜,研究了TiO2薄膜的表面形貌、结构特性、光催化特性与制备参数的关系以及掺杂作用机理.研究发现,在500℃温度下掺N(原子比4%)的TiO2薄膜比较均匀,致密性好,通过XRD分析得出,该薄膜是多晶锐钛矿结构.在紫外光的照射下,掺氮TiO2薄膜对亚甲基蓝溶液具有良好的光催化降解作用,通过对TiO2薄膜进行退火前和退火后的光催化性能研究,发现样品在550℃退火1h后的光催化性比退火前的明显提高.
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