【摘 要】
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采用多弧离子镀技术,利用纯Ti靶及TiAl合金靶在SKH51高速钢基本上沉积三种不同Al含量的TiN/Ti1-xAlxN复合多层涂层,利用材料表面性能测试仪、显微硬度计、扫描电镜、X射线衍射仪等研究了Al含量及多层结构对涂层形貌、相结构、显微硬度、膜基结合力的影响.结果表明:TiN/Ti1-xAlxN复合多层涂层均为柱状晶结构,断口形貌表现为短纤维状撕裂,随着Al含量的升高,涂层中大颗粒数量增加,
【机 构】
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广州今泰科技股份有限公司,广州510520;华南理工大学材料科学与工程学院,广州510640 华南
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采用多弧离子镀技术,利用纯Ti靶及TiAl合金靶在SKH51高速钢基本上沉积三种不同Al含量的TiN/Ti1-xAlxN复合多层涂层,利用材料表面性能测试仪、显微硬度计、扫描电镜、X射线衍射仪等研究了Al含量及多层结构对涂层形貌、相结构、显微硬度、膜基结合力的影响.结果表明:TiN/Ti1-xAlxN复合多层涂层均为柱状晶结构,断口形貌表现为短纤维状撕裂,随着Al含量的升高,涂层中大颗粒数量增加,显微硬度升高,衍射峰右移,晶格常数减小;与相应成分的单层Ti1-xAlxN涂层相比,硬度均有少许的降低,但结合力有明显的提高.
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