【摘 要】
：
对许多微传感器和微执行器(如微加速度计、微麦克风以及微开关等),压膜空气阻尼对器件性能有重要影响.分析MEMS器件压膜空气阻尼的传统方法是采用雷诺方程.为了降低阻尼的影
【机 构】
：
微电子学系专用电路国家重点实验室,复旦大学(上海)
论文部分内容阅读
对许多微传感器和微执行器(如微加速度计、微麦克风以及微开关等),压膜空气阻尼对器件性能有重要影响.分析MEMS器件压膜空气阻尼的传统方法是采用雷诺方程.为了降低阻尼的影响,一个简单有效的方法是在板上开孔或开槽,这样,空气将主要从孔或槽中泄出,减小了阻尼.事实上,在表面微机械技术中为了腐蚀牺牲层也需要开孔或槽.此前,我们针对孔板结构得到了修正的雷诺方程并以长条孔板为例得到了有限宽度和有限厚度孔板压膜阻尼的压强分布和阻尼力的解析结果.本文在前文的基础上推导出了一个槽板结构压膜空气阻尼的微分方程.该方程与传统雷诺方程的区别是增加了一个项以表示气体从槽流出对阻尼的影响.利用此方程结合适当的边界条件,可以求解槽板压膜阻尼的压强分布和阻尼力.该槽板结构压膜空气阻尼的微分方程对槽板的厚度和横向尺度没有限制,完善地解决了分析有限尺寸槽板的边界条件和槽板的厚度对压膜阻尼的影响的困难.
其他文献
1 神经元特异性烯醇化酶1.1 急性脑血管病 神经元特异性烯醇化酶(NSE)是中枢神经特异的蛋白质,定位于脑灰质神经细胞和末梢神经元,是脑缺血损伤后的一项重要指标.动物实验表
模仿与理解rn爸爸呵呵笑的时候喜欢摸摸鼻子,你笑的时候,是不是会无意识地像爸爸一样做摸鼻子的动作?rn你的一位很要好的同学最近喜欢上了集邮,你是不是也跟着开始喜欢集邮了
石英微机械陀螺具有体积小、质量轻、功耗小、启动快、成本低、可靠性高、耐恶劣环境、易于实现数字化和智能化等优点,在近年来,受到了广泛关注和研究.本文介绍了一种音叉式
随着MEMS集成度的提高,迫切需要有相应的设计方法进行系统级的设计与模拟,由于MEMS器件的工作原理包含了多种能量的耦合,宏模型的建立成了系统级设计的"瓶颈".模拟硬件描述语
本文介绍了最新优化设计的双E型加速度传感器硅芯片结构的优化设计和工艺实现.通过控制不同敏感硅芯片弹性膜的厚度,即可制得不同量程的双E型敏感硅芯片和加速度传感器.
慢性阻塞性肺疾病(COPD)患者在病程中常发生营养不良.营养不良导致免疫防御机能低下,易伴发感染;呼吸肌的结构和功能受损,进一步加重通气功能障碍.营养支持治疗能提高患者的
胰岛淀粉样变(Lslet amyloid)是糖尿病2型(Type2 Diabetes Mellitus,DM2)的重要病理变化,其发生机制目前尚不清楚.近期的研究提示,高脂肪饮食及血脂异常所引起的β细胞功能异
红霉素(Erythromycin,以下简称EM)是大环内酯类抗生素,其抗菌谱窄,副作用多,一时较少使用.加上大环内酯类新品种的不断出现,抗菌谱更广,对酸稳定,临床应用较EM具有更大优势.
气压的测量在航空航天、气象预报、环境检测等领域中具有重要的意义.微型电容压力传感器具有体积小、功耗低、灵敏度高的优点,在气体压力测量中被广泛应用.本文根据前人科研
介绍了用高精密纳米压入仪检测微机械悬桥的载荷-挠度曲线,来研究LPCVD氮化硅薄膜的力学特性.通过大挠度理论分析,得到考虑了衬底变形的微桥挠度解析表达式.对于在加卸载过程