【摘 要】
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随着MEMS集成度的提高,迫切需要有相应的设计方法进行系统级的设计与模拟,由于MEMS器件的工作原理包含了多种能量的耦合,宏模型的建立成了系统级设计的"瓶颈".模拟硬件描述语
【机 构】
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MEMS教育部重点实验室,东南大学(中国南京)
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随着MEMS集成度的提高,迫切需要有相应的设计方法进行系统级的设计与模拟,由于MEMS器件的工作原理包含了多种能量的耦合,宏模型的建立成了系统级设计的"瓶颈".模拟硬件描述语言(如VHDL-AMS、MAST等)提供了一种有效的方法,即建立起一组表示MEMS器件动态特性的微分代数方程组(DAEs),然后对其描述,可形成相应的库单元,以便利用现有的系统级仿真软件进行模拟、优化.梳状谐振器是一种典型的MEMS器件,本文选择其作为对象,介绍了用硬件描述语言建立宏模型的方法和过程.建立的模型可以进行静态工作点、时域和频域分析.这种方法同样适用于其它的MEMS器件.
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