【摘 要】
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椭圆偏振光谱分析技术能够进行复介电函数、复折射率、透射率和反射率光谱的绝对值测量,具有非接触、无损、快速实时和准确检测的显著优点,在科学研究和微纳光电子等产业领域
【机 构】
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复旦大学光科学与工程系,微纳光子结构教育部实验室,上海,200433
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椭圆偏振光谱分析技术能够进行复介电函数、复折射率、透射率和反射率光谱的绝对值测量,具有非接触、无损、快速实时和准确检测的显著优点,在科学研究和微纳光电子等产业领域正获得越益广泛和重要的应用.在本报告中,将回顾已发展的多种快速椭圆偏振光谱测量方法.在传统方法中,为了控制入射光的偏振态,需要借助机械方式对光学器件的偏振态进行精确控制,这是影响椭偏参数测量时间和精度提高的关键制约因素.
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