表面传导场发射结构聚焦效果的研究

• 作 者: 朱晓波 屈科 迟云燕 雷威
• 机 构: 东南大学电子科学与工程学院显示中心 江苏 南京 210096
• 出 处: 中国电子学会真空电子学分会第十七届学术年会暨军用微波管研讨会
• 发表日期: 2009年期
• 关键词: 表面传导 发射结 场发射 聚焦结构 二次电子发射 电子束 软件模拟 开启电压 聚焦效果 结构作用 电子轨迹 可行性 试验 改善 成本

本文对表面传导场发射结构聚焦效果进行了研究。在过去的研究中，我们提出了表面传导场发射结构(SCFE)，它具有发射效果均匀、稳定，开启电压低，成本低等优点。然而，在这种结构中，所发射的电子束发散现象明显，严重影响了场发射的性能。因此，我们在SCFE结构中增加了聚焦结构，以改善电子束发散的状况，并激发二次电子发射。我们通过模拟软件模拟了在聚焦结构作用下的电子轨迹，并在相应的试验中验证了其可行性。