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Plasma Ion Implantation and Deposition Using High Power Pulsed Magnetron Discharge
【机 构】
：
State Key Lab of Advanced Welding & Joining, Harbin Institute of Technology, 150001 Harbin, China
【出 处】
：
The 11th International Workshop on Plasma-Based Ion Implanta
【发表日期】
：
2011年期
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