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双光束直线度干涉测量装置
双光束直线度干涉测量装置
来源 :中国光学学会江苏、河北、江西三省光学与激光学术交流会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:tjtcqp
【摘 要】
:
该文介绍在直线度测量的研究中采用的一种双光束干涉装置。该装置较好地解决了光束漂移对测量的影响。在实验室内,若忽略大气扰动的影响,精度可达0.2μm。文章内容包括该装置的
【作 者】
:
王域蔚
翟绪圣
唐家才
【机 构】
:
河北工学院
【出 处】
:
中国光学学会江苏、河北、江西三省光学与激光学术交流会
【发表日期】
:
1986年期
【关键词】
:
双光束
直线度测量
干涉装置
文章内容
精度分析
光束漂移
工作原理
放大机构
大气扰动
室内
实验
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该文介绍在直线度测量的研究中采用的一种双光束干涉装置。该装置较好地解决了光束漂移对测量的影响。在实验室内,若忽略大气扰动的影响,精度可达0.2μm。文章内容包括该装置的工作原理,测微放大机构的特点以及精度分析三部分。(本刊录)
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