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综合分析激光工件台三坐标系在电子束曝光中，对芯片在工件台上移动、定位产生的误差，并对此进行了修正。
激光工件台三坐标误差分析与修正
【摘 要】
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综合分析激光工件台三坐标系在电子束曝光中，对芯片在工件台上移动、定位产生的误差，并对此进行了修正。
【机 构】
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产业部电子第48研究所(长沙)
【出 处】
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第十届全国电子束、离子束、光子束学术年会
【发表日期】
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1999年期
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