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采用脉冲激光沉积技术(PLD)在Al2O3(0001)衬底上制备了Mn掺杂ZnO稀磁薄膜,利用原子力显微镜、X射线衍射、光致发光、磁滞回线系统地表征了不同氧压对样品的表面形貌、微观结构、光学性质和室温铁磁特性的影响。结果表明沉积的薄膜均具有良好的c轴择优取向,在氧分压为5 Pa时得到的(002)衍射峰半高宽最小,但薄膜的室温铁磁性随氧分压的增加而增大,分析认为Mn掺杂引起的锌空位可能诱导了Zn0.99Mn0.01O薄膜窒温铁磁性。