Cd1-χZn，S(χ=0.4)多晶薄膜的制备及其性能研究

• 作 者: 狄霞 孙震 李卫 冯良桓 蔡亚平 张静全 武莉莉 黎兵 雷智
• 机 构: 四川大学材料科学与工程学院,成都 610064
• 出 处: 第十一届中国光伏大会暨展览会
• 发表日期: 2010年期
• 关键词: 多晶薄膜 膜的制备 光谱分析 光学透射谱 高度择优取向 荧光 同时蒸发 六方结构 光学性质 共蒸发法 振荡法 锌含量 吸收边 真空 石英 生蓝 监测

本文采用真空共蒸发法同时蒸发CdS和ZnS制备了Cd1-χZnχS多晶薄膜。通过XRD、荧光光谱分析和光学透过谱分析了CA1-χZrχS(χ=0.4)多晶薄膜的结构、组分和光学性质。XRD的结果表明：Cd1-χZnχS(χ=0.4)多晶薄膜为六方结构，高度择优取向;荧光光谱分析与石英振荡法监测的Cd1-χZn,S(χ=0.4)多晶薄膜的组分吻合;制备的Cd1-χZnχS多晶薄膜的光学透射谱的吸收边随锌含量的增加发生蓝移。