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该文介绍一种以多晶硅薄膜为压力敏感材料的高压压力传感器。该传感器具有体积小、耐高温、工作温度范围宽、动态特性及线性度好等特点。满量程输出可达５０ｍＶ以上。
压阻式高压传感器的研究
【摘 要】
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该文介绍一种以多晶硅薄膜为压力敏感材料的高压压力传感器。该传感器具有体积小、耐高温、工作温度范围宽、动态特性及线性度好等特点。满量程输出可达５０ｍＶ以上。
【机 构】
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工业部四十九所(哈尔滨)
【出 处】
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第五届全国敏感元件与传感器学术会议
【发表日期】
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1997年期
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