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基于MEMS技术设计的温湿度传感器具有重量轻、体积小、成本低、易集成等特点,集成传感器可提高器件的一致性,可靠性,易形成批生产能力.本文从理论上分析了热电原理测量空气湿度的可行性,引入一个与湿度呈单调递减的关系函数,消除了外界温度对湿度测量的影响.设计和制作了微空气桥温湿传感器,研究了导热检测湿度测量方法.文章重点对湿度部分的测量结果进行了分析,实验证实所设计温湿传感器具有良好性能,相对湿度测量精度可达2﹪.