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溶胶—凝胶法制备的C轴定向ZnO薄膜的结构特性
溶胶—凝胶法制备的C轴定向ZnO薄膜的结构特性
来源 :第四届全国玻璃科学技术学术年会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:TNT2000
【摘 要】
:
该文通过XRD和TSEM分析,对溶胶—凝胶ZnO薄膜的结构特性和与工艺参数的关系进行了研究。ZnO薄膜的定向结晶主要依赖于热处理过程和衬底的结构。从薄膜表面及截面的SEM照片中可以直接看到垂直于
【作 者】
:
左岩
龚方田
【机 构】
:
建筑材料科学研究院
【出 处】
:
第四届全国玻璃科学技术学术年会
【发表日期】
:
1993年期
【关键词】
:
溶胶
凝胶
法制
定向结晶
薄膜表面
结构特性
热处理过程
工艺参数
纤维状
照片
晶粒
截面
垂直
衬底
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该文通过XRD和TSEM分析,对溶胶—凝胶ZnO薄膜的结构特性和与工艺参数的关系进行了研究。ZnO薄膜的定向结晶主要依赖于热处理过程和衬底的结构。从薄膜表面及截面的SEM照片中可以直接看到垂直于表面的晶粒和膜内的纤维状结构。
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