论文部分内容阅读
本文采用玻璃衬底硅基薄膜太阳电池的沉积设备,与玻璃衬底内级联相兼容的工艺,可重复利用的玻璃做转移衬底,制备聚酯膜柔性太阳电池组件.通过优化制备工艺,采用磁控溅射的氧化锌薄膜作透明前电极,得到面积为1OOcm2,背电极为Al的单结PIN型非晶硅薄膜柔性太阳电池组件,其转换效率为5.38%.