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电容结构相关论文
金属基多梁圆盘式敏感质量加速度计相关技术研究
加速度计是一种典型的惯性导航传感器。随着微机电系统(MEMS)的发展,MEMS加速度传感器越来越显示出它的重要性。它和微惯性陀螺组成的......
学位
金属基
多梁
圆盘式
加速度计
建模
工艺
闭环电路
BVO铁电薄膜电容结构的制备与性能研究
相对于传统的非易失性存储器,基于铁电薄膜的非易失性存储器具有功耗低,存取速度快,掉电数据不丢失等优点。锆钛酸铅(PZT)是最早的......
学位
溶胶凝胶
BVO铁电薄膜
c轴择优生长
电学性能
光学性质
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